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產(chǎn)品詳情 PRODUCT

RTA系列快速熱退火爐
分類 Advance Riko 紅外金面反射爐
型號(hào) RTA
品牌 Advance Riko
產(chǎn)地 日本，進(jìn)口

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

 

 

RTA系列快速熱退火爐

RTA系列可處理2~12 英寸（50~300mm）的樣品，10s內(nèi)即可到設(shè)置的退火溫度。

該爐體采用水冷壁的結(jié)構(gòu)，結(jié)合紅外加熱的高能量密度，近紅外的波長(zhǎng)快速升溫特點(diǎn)，搭配高精度，快速響應(yīng)的溫控器進(jìn)行精確溫度控制。

RTA系統(tǒng)可滿足用戶對(duì)于工藝配方的控制（溫度控制，升降溫速率控制，氣氛及氣體流量控制等）。RTA系統(tǒng)有助于找到最佳的熱處理方式

 

 

應(yīng)用

·  離子注入后的活化退火

·  沉積氧化膜的退火

·  歐姆電極合金化

·  PZT，SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

·  硅化物及自對(duì)準(zhǔn)硅化物的生成

·  發(fā)光元件，半導(dǎo)體激光基板的熱處理

·  超淺結(jié)的生成

·  鐵電電容器沉積

·  柵氧化膜的生成

 

特點(diǎn)：

· 最高升溫速率可達(dá)200℃/s

· 可搭配自動(dòng)傳樣機(jī)器人

·  可連接半導(dǎo)體制造設(shè)備

·  各個(gè)加熱區(qū)的燈管功率單獨(dú)可控，可以對(duì)不同尺寸的樣品實(shí)現(xiàn)均勻加熱

 

參數(shù)：

 
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