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產(chǎn)品詳情 PRODUCT

MILA-700AR風(fēng)冷桌面型快速退火爐
分類 Advance Riko 紅外金面反射爐
型號 MILA-700AR
品牌 Advance Riko
產(chǎn)地 日本，進(jìn)口

產(chǎn)品簡介

 

MILA-700AR風(fēng)冷桌面型快速退火爐

 

MILA-700AR是一款風(fēng)冷桌面型的快速退火爐。相較于MILA-5000，該設(shè)備加熱過程中不需要外接水冷，可由設(shè)備自身配置的風(fēng)冷系統(tǒng)進(jìn)行降溫。

 

應(yīng)用

特點(diǎn)：

1. 晶圓，復(fù)合晶圓的快速加熱

1. 50°C / s快加熱

2. 光化學(xué)氣相沉積襯底加熱

2. 可在真空，惰性氣體，流動氣氛，空氣的氣氛下進(jìn)行加熱

3. 熱循環(huán)測試

3. 精確的溫度控制

4. 涂膜的耐熱性評估

 4. 緊湊的臺式設(shè)計(jì)，工作無需匹配水冷循環(huán)系統(tǒng)

5. 有機(jī)材料和樹脂的加熱和干燥

  

 

參數(shù)

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